自動(dòng)膜厚測量系統(tǒng) 測厚儀

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更新日期：2024-03-20

簡要描述：

日本filmetrics自動(dòng)膜厚測量系統(tǒng)F50
F50自動(dòng)測繪膜厚測量系統(tǒng)是將基于光學(xué)干涉原理的膜厚測量功能與自動(dòng)高速載物臺相結(jié)合的系統(tǒng)。
以過去無法想象的速度測量點(diǎn)的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板，并且可以任何測量點(diǎn)。

詳細(xì)介紹

類型	數(shù)字式	測量范圍	1

日本filmetrics自動(dòng)膜厚測量系統(tǒng)F50

F50自動(dòng)測繪膜厚測量系統(tǒng)是將基于光學(xué)干涉原理的膜厚測量功能與自動(dòng)高速載物臺相結(jié)合的系統(tǒng)。
以過去無法想象的速度測量點(diǎn)的膜厚和折射率。它支持從2英寸到450毫米的硅基板，并且可以任何測量點(diǎn)。
還有與大型玻璃基板兼容的可選產(chǎn)品。

主要特點(diǎn)

結(jié)合基于光學(xué)干涉原理的膜厚測量功能和自動(dòng)高速載物臺的系統(tǒng)
以過去無法想象的速度測量點(diǎn)的膜厚和折射率
兼容2英寸至450毫米的硅基板，可任何測量點(diǎn)

日本filmetrics自動(dòng)膜厚測量系統(tǒng)F50

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體	抗蝕劑、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅、拋光硅片、化合物半導(dǎo)體襯底、?T襯底等。
平板	單元間隙、聚酰亞胺、ITO、AR膜、各種光學(xué)膜等。
薄膜太陽能電池	CdTe、CIGS、非晶硅等
引	砷化鋁鎵（AlGaAs）、磷化鎵（GaP）等

測量示例

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自動(dòng)膜厚測量系統(tǒng) 測厚儀

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