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更新日期：2024-03-20
簡要描述：
日本hrd-thermal薄膜熱擴(kuò)散率檢測(cè)儀TM3用于測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱擴(kuò)散率
日本hrd-thermal薄膜熱擴(kuò)散率檢測(cè)儀TM3
熱物理性質(zhì)顯微鏡是測(cè)量熱滲透率的裝置，熱滲透率是熱物理性質(zhì)值之一。
它是一種可以通過點(diǎn)，線和表面來測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。
也可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)值的分布，這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測(cè)量的設(shè)備。
檢測(cè)光斑直徑為3μm，可在微小區(qū)域內(nèi)高分辨率測(cè)量熱物理性質(zhì)（點(diǎn)/線/表面測(cè)量）。
由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，因此可以測(cè)量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
您也可以測(cè)量基材上的樣品。
激光非接觸式測(cè)量。
可以檢測(cè)薄膜下的裂縫，空隙和剝離。
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。
由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)（熱解法），因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測(cè)激光器的反射強(qiáng)度的變化，來測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。去做。
熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。
日本hrd-thermal薄膜熱擴(kuò)散率檢測(cè)儀TM3
名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
測(cè)量方式 | 熱物理性質(zhì)分布測(cè)量（1維，2維，1點(diǎn)） |
測(cè)量項(xiàng)目 | 熱滲透率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率） |
檢測(cè)光斑直徑 | 約3μm |
1點(diǎn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間 | 10秒 |
待測(cè)薄膜 | 厚度幾百納米到幾十微米 |
重復(fù)精度 | 耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％ |
樣品 | 1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
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工作溫度極限 | 24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器） |
平臺(tái)移動(dòng)距離 | ? X軸方向20mm |
加熱激光 | 半導(dǎo)體激光波長：808nm |
檢測(cè)激光 | 半導(dǎo)體激光波長：658nm |
電源 | 交流100V 1.5kVA |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架，參考樣品 |
選項(xiàng) | 光學(xué)壓盤，空調(diào)，空調(diào)房，飛濺裝置 |
