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更新日期:2024-03-22
簡要描述:
日本shibaura皮拉尼壓力真空計 GPW 系列本產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計,能夠測量從大氣壓到 5 × 10 -2 Pa 的寬范圍。
日本shibaura皮拉尼壓力真空計 GPW 系列
本產(chǎn)品是一種皮拉尼真空計,能夠測量從大氣壓到 5 × 10 -2 Pa 的寬范圍。
此外,該真空計從傳統(tǒng)控制器中去除了操作/顯示單元,并將其縮小到低限度的必要功能,從而實現(xiàn)了“降低成本"和“節(jié)省空間"。
廣域測量:可進行從大氣壓到 5 × 10 -2 Pa 的廣域測量
省配線:通過集成傳感器和控制器,實現(xiàn)省配線、省空間和省電。
提高可視性:配備可檢查異常情況的 LED
可一鍵調(diào)節(jié):可一鍵調(diào)節(jié)大氣壓、調(diào)零點
可維護性:輕松更換觸控筆
燈絲材料-鉑(Pt):燈絲材料采用耐腐蝕性好的鉑金。
測量值輸出信號:0~10V壓力對數(shù)輸出標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
提高抗沖擊性:具有優(yōu)異抗沖擊性的設(shè)計結(jié)構(gòu)
控制輸出信號:可輸出2個設(shè)定點(GPW-1)
串行通信規(guī)格:可進行 RS-232C/RS-485 通信(僅限 GPW-2)
符合標(biāo)準(zhǔn):符合CE標(biāo)準(zhǔn)
用于太陽能電池、FPD、半導(dǎo)體、電子元件等各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制
用于熔爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空區(qū)域的過程控制
用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的工藝控制
模型 | 總規(guī)劃一一 | 工作總計劃-2 | |
---|---|---|---|
可連接觸控筆 | 一 | ||
自適應(yīng)觸控筆 | SWP-16 (NW-16) | ||
測量壓力范圍 | 5.0 x 10 -2至 1.0 x 10 5 Pa | ||
測量精度 * | 1×10 -1~1××10 4 Pa:±10% 5.0×10 -2~1.0×10 -1 Pa、1×10 4 Pa~1×10 5 Pa:±20% | ||
重復(fù)性 | 1×10 -1 Pa~1×10 4 Pa:±2% | ||
采樣時間 | 50 毫秒 5 個移動平均線 | ||
測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10 V | ||
壓力指示(日志輸出) 1.7 V 至 8.0 V,1 V/位 | |||
更新時間 | 50 毫秒 | ||
控制輸入信號 | 集電極開路輸入,負(fù)邏輯 ADJ調(diào)節(jié)(零點調(diào)節(jié),大氣壓調(diào)節(jié)) | ―――― | |
控制輸出信號 | 集電極開路輸出 負(fù)邏輯 [額定值:30 VMAX、50 mAMAX、70 mW] 錯誤信號 設(shè)定點 1、2 | ―――― | |
監(jiān)控設(shè)定點 | 設(shè)定點 1、2:0 ~ 10 V 日志輸出 | ―――― | |
串行通信規(guī)格 | ―――― | RS232C / RS485 | |
LED顯示屏 | POWER / ERROR:電源、錯誤指示燈 | ||
SET-1:設(shè)定點 1 LED SET-2:設(shè)定點 2 LED | ―――― | ||
燈絲材料 | 鉑 | ||
工作溫度限制 | 10-40℃ | ||
工作濕度范圍 | 15-80%(但無冷凝) | ||
知識產(chǎn)權(quán)保護等級 | IP30(傳感器單元) | ||
安裝姿勢 | 沒有限制 | ||
電源電壓 | DC 18 V 至 30 V,2 W(打開電源時為 4.8 W) | ||
輸入/輸出連接器 | D-sub15-Pin(M2.6 螺絲) | ||
大量的 | 150 克(帶 SWP-16) | ||
外形尺寸(電源) W x D x H (mm) | 70×46×28 | ||
符合標(biāo)準(zhǔn) | 行政長官 |
* 氣壓調(diào)整和零點調(diào)整后的精度。