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更新日期:2024-03-23
簡要描述:
thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5【熱水熱CVD設(shè)備】小型高性能CVD設(shè)備是基礎(chǔ)研究的理想選擇
品牌 | 其他品牌 | 燃料 | 電加熱鍋爐 |
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結(jié)構(gòu)形式 | 立式 | 出口壓力 | 高壓 |
thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
【熱水熱CVD設(shè)備】小型高性能CVD設(shè)備是基礎(chǔ)研究的理想選擇
石墨烯、碳納米管
氧化鋅納米線
絕緣膜,如SiO2等
此外,它可以作為熱水型熱CVD裝置廣泛用于各種用途。
緊湊的系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積實(shí)驗(yàn)
熱水式反應(yīng)管內(nèi)部均勻加熱
4 個(gè)系統(tǒng)(用于 CH4、Ar、H2、起泡器) MFC 高精度流量控制:精度±1% F.S.
帶電容壓力計(jì)的高精度APC壓力控制
通過可選的實(shí)驗(yàn)室視圖軟件進(jìn)行遠(yuǎn)程控制,數(shù)據(jù)分析
thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
石英爐芯管尺寸 | Φ2.5英寸或Φ4英寸 x 長12" |
樣本量 | 10 x 10毫米(2.5英寸)、100 x 100毫米(4英寸) |
溫度控制 | PID編程溫度控制器 |
爐壓控制 | APC自動(dòng)壓力控制 |
極限壓力 | 5 x 10-3 托 |
真空計(jì) | 食人魚計(jì),電容壓力計(jì) |
真空泵 | 旋轉(zhuǎn)泵 |
質(zhì)量流量控制器 | 0-50SCCM(CH4) |
0-500sccm(Ar) | |
0-1000sccm(H2) | |
0-50sccm(用于起泡劑、酒精劑或無毒液前體) |