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thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5

訪問次數(shù):913

更新日期:2024-03-23

簡要描述:

thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
【熱水熱CVD設(shè)備】小型高性能CVD設(shè)備是基礎(chǔ)研究的理想選擇

thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5
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thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5

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納米爐模型。 BWS-納米

【熱水熱CVD設(shè)備】小型高性能CVD設(shè)備是基礎(chǔ)研究的理想選擇

  • 石墨烯、碳納米管

  • 氧化鋅納米線

  • 絕緣膜,如SiO2等

此外,它可以作為熱水型熱CVD裝置廣泛用于各種用途。


特征

  • 緊湊的系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜沉積實(shí)驗(yàn)

  • 熱水式反應(yīng)管內(nèi)部均勻加熱

  • 4 個(gè)系統(tǒng)(用于 CH4、Ar、H2、起泡器) MFC 高精度流量控制:精度±1% F.S.

  • 帶電容壓力計(jì)的高精度APC壓力控制

  • 通過可選的實(shí)驗(yàn)室視圖軟件進(jìn)行遠(yuǎn)程控制,數(shù)據(jù)分析

thermocera熱CVD設(shè)備納米爐BWS-NANO-2.5

原理圖規(guī)格

石英爐芯管尺寸Φ2.5英寸或Φ4英寸 x 長12"
樣本量10 x 10毫米(2.5英寸)、100 x 100毫米(4英寸)
溫度控制PID編程溫度控制器
爐壓控制APC自動(dòng)壓力控制
極限壓力5 x 10-3 托
真空計(jì)食人魚計(jì),電容壓力計(jì)
真空泵旋轉(zhuǎn)泵
質(zhì)量流量控制器0-50SCCM(CH4)
0-500sccm(Ar)
0-1000sccm(H2)
0-50sccm(用于起泡劑、酒精劑或無毒液前體)



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