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更新日期:2024-03-17
簡(jiǎn)要描述:
日本napson晶圓平整度測(cè)量厚度檢測(cè)FLA-200非接觸式平面度/厚度測(cè)量系統(tǒng)。測(cè)量晶片樣品的平整度(TTV,BOW,WARP)和厚度。
類型 | 數(shù)字式 | 測(cè)量范圍 | 1 |
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日本napson晶圓平整度測(cè)量厚度檢測(cè)FLA-200
非接觸式平面度/厚度測(cè)量系統(tǒng)。測(cè)量晶片樣品的平整度(TTV,BOW,WARP)和厚度。
測(cè)量目標(biāo)
?半導(dǎo)體/太陽(yáng)能電池材料相關(guān)(硅,多晶硅,SiC等)
?硅基外延,離子注入樣品
?化合物半導(dǎo)體相關(guān)(GaAs Epi,GaN Epi,InP,Ga等)
測(cè)量尺寸
3-8英寸
測(cè)量范圍
厚度:200 –1200μm
弓形:+/- 350μm
翹曲:350μm