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日本fuji電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列 液體處理裝置

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更新日期:2024-03-19

簡(jiǎn)要描述:

日本fuji電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列
蝶閥壽命長(zhǎng),價(jià)格低,性能高,并且可以進(jìn)行各種打開和關(guān)閉操作。

日本fuji電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列 液體處理裝置
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日本fuji電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列

蝶閥壽命長(zhǎng),價(jià)格低,性能高,并且可以進(jìn)行各種打開和關(guān)閉操作。

  1. 壽命長(zhǎng)一百萬(wàn)次

  2. 價(jià)格低廉自動(dòng)壓力控制可以以較低的價(jià)格進(jìn)行。

  3. 高性能高性能伺服電機(jī),伺服放大器,采用新的驅(qū)動(dòng)機(jī)制

  4. 可以實(shí)現(xiàn)高性能的泄漏規(guī)格(*注1),多級(jí)位置控制和自動(dòng)壓力控制。
    還可以通過閥O形圈來支持?jǐn)Q緊余量O規(guī)格,從而實(shí)現(xiàn)小的電導(dǎo)。

  5. 可提供小直徑為20A NW25的尺寸。(20A NW25尺寸也可提供一個(gè)可以*閉合的O形圈。)

特征

  • 低成本閥門MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列是專yong于電導(dǎo)控制的電動(dòng)蝶閥,它沒有閥體O形圈。

  • 三菱電機(jī)制造的多功能伺服電機(jī)用作閥體的驅(qū)動(dòng)源,并且可以將閥體停止并保持在任何其他位置,例如*關(guān)閉或*打開。

  • 可以分多個(gè)階段改變閥門的開口面積,并且可以用于多種應(yīng)用,例如在真空容器內(nèi)保持恒定壓力,改變閥門前后的壓力以及改變排氣電導(dǎo)。

  • 可以使用計(jì)算機(jī)軟件或伺服放大器本身預(yù)先設(shè)置中間停止位置,多可以存儲(chǔ)13個(gè)位置。

  • 通過從主機(jī)系統(tǒng)(例如PLC)發(fā)送信號(hào),它將以良好的可重復(fù)性停在設(shè)定位置。

  • 通過將可選的雙重自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)控制器與FPC系列相結(jié)合,可以進(jìn)行包括自動(dòng)壓力控制在內(nèi)的各種控制。

日本fuji電動(dòng)蝶閥MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列

MBV-SDⅡ-M4-ARJ系列的主要規(guī)格

法蘭型JIS / ISO / CF / NW
泄漏量1 x 10 -9 Pa·m 3 / s以下
使用面積10 5 至10 -6 Pa
盤式密封沒有任何
軸封氟橡膠O型圈2個(gè)步驟
口徑20A-100A
電源規(guī)格主電源AC200V(額定電流1.5A)
控制電源AC200V(額定電流0.2A)
接口電源DC24V(500mA)
控制方式交流伺服方式
氣體接觸材料SUS304


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