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日本sscooling架式冷水機(jī)組ThermoRack 1201 實(shí)驗(yàn)室冷水機(jī)

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更新日期:2024-03-24

簡(jiǎn)要描述:

日本sscooling架式冷水機(jī)組ThermoRack 1201
適用于等離子刻蝕和其他半導(dǎo)體應(yīng)用的機(jī)架式冷水機(jī)組

日本sscooling架式冷水機(jī)組ThermoRack 1201 實(shí)驗(yàn)室冷水機(jī)
品牌其他品牌產(chǎn)地進(jìn)口
冷卻方式水冷式儀器種類分體式

日本sscooling架式冷水機(jī)組ThermoRack 1201

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  • 1,200 瓦的冷卻能力

  • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復(fù)性

  • 工作溫度范圍:-10°C 至 80°C

  • 專為非??焖俚捻憫?yīng)而設(shè)計(jì)

  • 減少晶圓間的變化,消除晶圓效應(yīng)

  • 比基于壓縮機(jī)的冷水機(jī)組節(jié)能高達(dá) 80%

  • 采用熱電技術(shù),可靠性高,維護(hù)成本低

  • 設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單 – 只有 2 個(gè)活動(dòng)部件

  • 消除氟利昂和其他有害制冷劑,符合新的環(huán)境法規(guī)

  • 使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑,如氟惰性或高登

  • 緊湊的尺寸:多達(dá) 6 個(gè) TR1201 系統(tǒng)適合 1 臺(tái)壓縮機(jī)冷水機(jī)組的空間

  • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)

  • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用

  • 等離子刻蝕、等離子灰、CMP 和其他工藝的解決方案

  • 輔助加熱器可用于加熱65°C以上

  • 詢問(wèn)我們的以舊換新優(yōu)惠

日本sscooling架式冷水機(jī)組ThermoRack 1201

規(guī)格


工作范圍:
5°C 至 80°C(-10°C 至 80°C,帶 N2 選項(xiàng))
如果在 0°C 以下工作,則需要 LT 選件
環(huán)境溫度:
10°C 至 40°C 無(wú)冷凝
穩(wěn)定性/可重復(fù)性:
恒定負(fù)載下± 0.05°C(即使在接近環(huán)境溫度時(shí))
制冷量*:
~1,200 瓦 @ 20°C,20°C 設(shè)施用水
加熱能力**:
~2,000 瓦 @ 20°C,20°C 設(shè)施用水
冷卻液/工藝流體:
氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇
工藝流體接頭:
1/2“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
泵:
無(wú)刷直流磁力驅(qū)動(dòng)離心機(jī)
流量
14-18 升/分鐘@ 20 psig(取決于工藝流體)
油箱容積:
5.7 升(1.5 加侖),帶 2 個(gè)液位傳感器
設(shè)施用水:
4-19 升/分鐘(1-5 加侖/分鐘)@ 10-35°C 過(guò)濾,處理過(guò)的再循環(huán)設(shè)施冷卻水,pH 6.5 至 8.2
設(shè)施水配件:
1/2“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
N2/CDA(N2 選項(xiàng))
500 sccm -30°C 露點(diǎn)或更低的 CDA 或 N2,
30-60 psig (2-4 bar),用于低溫操作
接液材料:
工藝:鋁,不銹鋼和聚合物設(shè)施
:密封硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁
和不銹鋼
尺寸(寬 x 深 x 高):
19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U(48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米)
重量:
70 磅(31 千克)
電源輸入:
200-240 VAC 1 相,50/60 Hz,最大 10 A
斷路器:
16 安培 200-250 VAC 2 極,帶 30 mA GFCI
遠(yuǎn)程EMO:
外部干接點(diǎn)
通信:
泛林, 應(yīng)用材料公司,  RS232, 其他
警報(bào):
溫度、液位、系統(tǒng)或組件
故障(顯示、干接點(diǎn)和機(jī)器接口)
標(biāo)準(zhǔn):
半 S2-0200,符合 F47 標(biāo)準(zhǔn),CE
保證:
2 年
*注意:冷卻能力會(huì)因配置和設(shè)施而異 水溫/流速
**注意:80°C的加熱能力非常有限。

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