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sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801 實驗室冷水機

訪問次數(shù):1009

更新日期:2024-03-24

簡要描述:

sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801
更高容量的機架式冷水機組,用于等離子蝕刻和其他半導體應用

sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801 實驗室冷水機
品牌其他品牌產地進口
冷卻方式水冷式儀器種類分體式

sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801

image.png

  • 1,800 瓦的冷卻能力 – 在相同的 50U 機架式機箱中,容量比 ThermoRack 1201 高 5%

  • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復性

  • 工作溫度范圍:-20°C 至 80°C

  • 專為非常快速的響應而設計

  • 提供標準高流量、中流量和低流量配置

  • 減少晶圓間的變化,消除晶圓效應

  • 比基于壓縮機的冷水機組節(jié)能高達 80%

  • 采用熱電技術,可靠性高,維護成本低

  • 設計簡單 – 只有 2 個活動部件

  • 消除氟利昂和其他有害制冷劑,符合新的環(huán)境法規(guī)

  • 使用更少的設施水和昂貴的冷卻劑,如氟惰性或高登

  • 緊湊的尺寸:多達 6 個 TR1801 系統(tǒng)適合 1 臺壓縮機冷水機組的空間

  • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)

  • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用

  • 等離子刻蝕、等離子灰、CMP 和其他工藝的解決方案

sscooling半導體冷水機組ThermoRack 1801

規(guī)格

工作范圍:
-20°C 至 80°C(需要 N2/CDA)
LT 在低于 0°C 時需要選件
環(huán)境溫度:
10°C 至 40°C 無冷凝
穩(wěn)定性/可重復性:
恒定負載下± 0.05°C(即使在接近環(huán)境溫度時)
制冷量*:
1,600-2,000 瓦 @ 20°C,20°C 設施用水
,具體取決于冷板和工藝流體
加熱能力**:
3,000-3,400 瓦 @ 20°C,20°C 設施用水
,具體取決于冷板和工藝流體
冷卻液/工藝流體:
氟惰性/高登/HFE或水/乙二醇
工藝流體接頭:
1/2“ 世偉洛克 1/2" 世偉洛克(316 不銹鋼)
泵:
無刷直流磁力驅動離心機
流量:
(參見泵曲線)
油箱容積:
5.7 升(1.5 加侖),帶 2 個液位傳感器
設施用水:
8-12 升/分鐘(2-3 加侖/分鐘)@ 10-35°C 過濾、處理過的再循環(huán)設施冷卻水,pH 6.5 至 8.2
設施水配件:
1/2“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
N2/CDA (必需):
500 sccm -30°C 露點或更低的 CDA 或 N2,
30-60 psig (2-4 bar),用于低溫操作
接液材料:
工藝:鋁,不銹鋼和聚合物設施
:密封硬質陽極氧化鋁
和不銹鋼
尺寸(寬 x 深 x 高):
19 英寸 x 24 英寸 x 8.7 英寸 5U(48 厘米 x 61 厘米 x 22 厘米)
重量:
70 磅(31 千克)
電源輸入:
200-240 VAC 1 相,50/60 Hz,最大 10 A
斷路器:
16 安培 200-250 VAC 2 極,帶 30 mA GFCI
遠程EMO:
外部干接點
通信:
泛林, 應用材料公司,  RS232, 其他
警報:
溫度、液位、系統(tǒng)或組件
故障(顯示、干接點和機器接口)
標準:
半 S2-0200,符合 F47 標準,CE
保證:
2 年
*注意:冷卻能力會因配置和設施而異 水溫/流速


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